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硅片清洗废水处理案例|硅片清洗废水处理方法

该厂为8寸大晶圆生产方式线服务设施的超纯净水系统性,一天出现含硅电镀废水150吨。电镀废底层的水中虽无血本属,但硅硫含量高易积灰,且热敏电阻率需超过18MΩ·cm才会循环。同一进行处理工学院艺是无法要求新实行的《電子化工水污染破坏物的污染物基准》(GB39731-2020)特别的的污染物最大限度。 废液物质特征 最主要的水环境有害特性 :溶液硅(200-300mg/L)、颗粒剂硅(粒度分布0.1-1μm) 特殊化标准 :TOC<10μg/L,硼的含量<5μg/L 水质检测性能特点 :低水的电导率(<50μS/cm)但硅化学物质形状复杂的 处里加工过程程序流程 什么是创新所采用"梯级膜分离出来+电去阳离子"组成施工工艺: 微滤预操作 :1μm陶瓷厂家膜手机拦截大粒子硅,通量达到80LMH 铁离子变换光敏树脂 :D201大孔聚酯树脂抉择性吸附物硅酸原子核 二级考试RO系统 :首段收购率60%,第二个段用于高脱硼膜部件 EDI电去化合物 :电流值规格2A/m²,持续不断祛除残余物阴离子 红外光谱消毒杀菌 :254nm紫外光线标准容量40mJ/cm² 新技术闪光点 定制开发专门阻硅剂(生产胺类pp物),延迟膜被污染周期时间3倍 EDI组件改革创新流道方案,硅剔除率优化至99.8% 在线播放硅进行测试仪(侧量标准0.1-500μg/L)实现目标有目的操作 运动举措 经然后方检查: 总硅从280mg/L减少为0.05mg/L 硼成分从8μg/L减至0.3μg/L 整体回收利用率从原40%加强至68% 膜修改频次拉长至5年,年运转价格下降35%

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